电子级过氧化氢
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Electron-grade hydrogen peroxide
CAS号：7722-84-1
分子式：H2O2
分子量：34.01
结构式：
超净高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂，主要用作半导体硅晶片清洗剂，蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高级绝缘层制取，电镀液无机杂质去除，电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。在处理过程中，试剂中的杂质会对元器件性能产生致命影响，因此，超净高纯过氧化氢对纯度的要求非常苛刻。
更多信息：
包装：根据客户需求，产品有聚乙烯桶、吨槽、槽罐车等多种包装。注：基于特殊的化学性质，过氧化氢的包装须使用有排气孔的容器。
运输：本品按氧化剂运输规则运输，防止剧烈振摇；请勿直接用手接触，操作应配戴塑胶手套；若不慎接触或包装发生泄漏，请用大量水冲净。
质量指标
| 项目 | HP-1级 | HP-2级 | UP-1级 |
|---|---|---|---|
| 过氧化氢 (H2O2),W/% | 30-35 | 30-35 | 30-32 |
| 游离酸 (以H2SO4计)/ppm | 30 | 30 | 30 |
| 总有机碳TOC /ppm | 40 | 40 | 20 |
| 氯化物 (以Cl计)/ppm | 0.5 | 0.5 | 0.2 |
| 硝酸盐 (NO3计)/ppm | 4 | 2 | 0.4 |
| 磷酸盐 (PO4计)/ppm | 2 | 1 | 0.2 |
| 硫酸盐 (SO4计)/ppm | 2 | 2 | 0.2 |
| 铝 (Al)/ppb | 500 | 100 | 10 |
| 锑 (Sb)/ppb | 20 | 20 | 5 |
| 砷 (As)/ppb | 50 | 20 | 5 |
| 钡 (Ba)/ppb | 100 | 50 | 10 |
| 硼 (B )/ppb | 20 | 20 | 10 |
| 镉 (Cd)/ppb | 50 | 50 | 10 |
| 钙 (Ca)/ppb | 200 | 100 | 10 |
| 铬 (Cr)/ppb | 20 | 20 | 10 |
| 铜 (Cu)/ppb | 20 | 20 | 10 |
| 铁 (Fe)/ppb | 100 | 100 | 10 |
| 铅 (Pb)/ppb | 50 | 50 | 10 |
| 锂 (Li)/ppb | 20 | 20 | 10 |
| 镁 (Mg)/ppb | 100 | 50 | 10 |
| 锰 (Mn)/ppb | 50 | 20 | 10 |
| 镍 (Ni)/ppb | 50 | 50 | 10 |
| 钾 (K )/ppb | 200 | 100 | 10 |
| 钠 (Na)/ppb | 500 | 100 | 10 |
| 锡 (Sn)/ppb | 50 | 50 | 10 |
| 钛 (Ti)/ppb | 100 | 50 | 10 |
| 钒 (V )/ppb | / | / | 10 |
| 锌 (Zn)/ppb | 100 | 50 | 10 |
