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电子级过氧化氢

Electron-grade hydrogen peroxide

CAS号：7722-84-1

分子式：H₂O₂

分子量：34.01

结构式：

超净高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂，主要用作半导体硅晶片清洗剂，蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高级绝缘层制取，电镀液无机杂质去除，电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。在处理过程中，试剂中的杂质会对元器件性能产生致命影响，因此，超净高纯过氧化氢对纯度的要求非常苛刻。

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包装：根据客户需求，产品有聚乙烯桶、吨槽、槽罐车等多种包装。注：基于特殊的化学性质，过氧化氢的包装须使用有排气孔的容器。

运输：本品按氧化剂运输规则运输，防止剧烈振摇；请勿直接用手接触，操作应配戴塑胶手套；若不慎接触或包装发生泄漏，请用大量水冲净。

质量指标

项目	HP-1级	HP-2级	UP-1级
过氧化氢 (H₂O₂),W/%	30-35	30-35	30-32
游离酸 (以H₂SO₄计)/ppm	30	30	30
总有机碳TOC /ppm	40	40	20
氯化物 (以Cl计)/ppm	0.5	0.5	0.2
硝酸盐 (NO₃计)/ppm	4	2	0.4
磷酸盐 (PO₄计)/ppm	2	1	0.2
硫酸盐 (SO₄计)/ppm	2	2	0.2
铝 (Al)/ppb	500	100	10
锑 (Sb)/ppb	20	20	5
砷 (As)/ppb	50	20	5
钡 (Ba)/ppb	100	50	10
硼 (B )/ppb	20	20	10
镉 (Cd)/ppb	50	50	10
钙 (Ca)/ppb	200	100	10
铬 (Cr)/ppb	20	20	10
铜 (Cu)/ppb	20	20	10
铁 (Fe)/ppb	100	100	10
铅 (Pb)/ppb	50	50	10
锂 (Li)/ppb	20	20	10
镁 (Mg)/ppb	100	50	10
锰 (Mn)/ppb	50	20	10
镍 (Ni)/ppb	50	50	10
钾 (K )/ppb	200	100	10
钠 (Na)/ppb	500	100	10
锡 (Sn)/ppb	50	50	10
钛 (Ti)/ppb	100	50	10
钒 (V )/ppb	/	/	10
锌 (Zn)/ppb	100	50	10

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